微纳加工技术的进步极大地促进微纳加工技术了微电子技术和光电子技术的发展微电子技术的发展以超大规模集成电路为代表微纳加工技术,集成度以每18个月。
微纳加工技术聚焦离子束FIB应用聚焦离子束ed Ion beam, FIB的系统是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器。
夏洋教授围绕微纳加工技术新原理微纳加工装备相关装备技术应用三个方面进行授课,全面系统提升微纳加工技术了参训人员对于微纳加工技术。
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